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骐锐 牛津电子束镀膜机

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发货期限: 自买家付款之日起 3 天内发货
所在地: 广东
有效期至: 长期有效
最后更新: 2024-01-04 15:15
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公司基本资料信息
详细说明
  牛津电子束镀膜机是化合物半导体器件制作中的一种重要工艺技术。它是在高真空状态下由电子束加热坩埚中的金属,使其熔融后蒸发到所需基片上形成金属膜。可蒸发很多难熔金属或者蒸汽压低的金属材料,包括Ta, W, Mo, Rh, C, B, Pt, Al2O3, ZnO, Pr2O3…VS5电子束蒸发镀膜机是英国牛津真空公司生产,台式设计、软件自动操控、高性价比,非常适合实验室科研使用。
  牛津电子束镀膜机技术规格:
  - 基底尺寸:3英寸,4英寸,6英寸;
  - 基底旋转:0~10rpm;
  - 电子束源:Telemark电子束源,单袋或多袋电子束源可选;
  - 热蒸发源:多配置2套热蒸发舟(选配);
  - 腔体:不锈钢或石英腔体可供客户选择;
  - 泵:前级干泵,分子泵;
  - Load Lock样品传输腔室:手动或自动传输,高真空,支持多种样品衬底(选配);
  - 工艺控制:PC/PLC机制的自动控制、数据处理、远程支持;
  - 原位监控:石英晶振监测(QCM),光学监测,残余气体分析,其他原位监测技术或控制;
  - 衬底固定:单衬底固定,客户化衬底固定方式;
  - 衬底夹具:加热,冷却,偏置,旋转等;
  更多详情请咨询:http://www.shqiruikeji.com/SonList-2201899.html
  https://www.chem17.com/st453789/erlist_2201899.html
原文链接:http://www.dtcchina.com/chanpin/show-53333.html,转载和复制请保留此链接。
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