特性：
•大位移370μm
•大承载3.5kg
•通孔直径：Ø35mm
1~3维扫描台
P18压电扫描台包括X/XY/XYZ三种结构形式，可以满足1~3维大行程扫描或定位的应用需求。
典型应用
•闭环重复定位精度高•响应速度快
•图像处理与稳定•扫描显微
•干涉/计量•表面检测
•半导体测量•光学计量
大位移、大承载、高刚度、高频响
P18系列压电扫描台内置高可靠性压电陶瓷驱动，可以实现大370μm的扫描范围，运动直线性好，可选择闭环版本获得优异的线性度与重复定位精度。
P18采用*的结构设计，具有大刚度、大出力、大承载等特点，大承载达3.5kg，空载谐振频率达600Hz，配套芯明天大功率控制器响应时间高可达5ms，是精密加工、半导体制造、扫描显微等应用的选择。
在纳米光刻实验中需要对镜片进行高速微纳米级的精密移动，从而优化镜片读取的信息。
芯明天P18.XY300以其大位移、高精度、高稳定性等优点应用于纳米光刻实验。
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